场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列
技术规格
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型号 |
FE-1050系列 |
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1.电子光学系统 |
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电子枪 |
Schottky 场发射型 |
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物镜类型 |
非浸没电磁复合透镜 |
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加速电压 |
0.02-30KV |
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束斑电流 |
10pA 至 30nA（100nA 选配） |
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放大倍数 |
10x - 1,000, 000x |
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分辨率 |
SE |
1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) |
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BSE(选配) |
2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) |
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STEM |
0.8nm（30KV） |
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2.真空系统 |
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离子泵（IGP） |
25 L/s+2X20L/s |
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涡轮分子泵（TMP） |
250 L/s (N2) |
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前级真空泵 |
15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） |
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电子枪真空 |
<1.0x10-7 Pa |
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主样品室极限真空 |
<1.0x10-4 Pa |
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样品室接口数 |
27 个 |
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预抽室 |
50mm 样品托盘自动送样 |
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预抽室光学导航 |
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3.样品运动平台 |
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样品台行程 |
X |
140mm |
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Y |
140mm |
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Z |
60mm |
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R |
连续 360° |
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T |
-10°~80° |
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重复定位精度 |
X/Y/Z≤1um（选配） |
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样品最大承重 |
5kg |
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4.图像处理系统 |
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最小驻留时间 |
20ns |
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采集方式 |
4 通道同步采集 |
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最大图像分辨率 |
24kx24k 像素 |
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5.数据处理系统 |
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CPU |
Intel Xeon E5 及以上处理器 |
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内存 |
32G |
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显卡 |
显存≥24G，位宽≥384bit |
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显示器 |
34 英寸超宽屏显示器 |
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控制台 |
人体工程学可升降操控台 |
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6.探测器系统 |
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检测器 |
In-Column SE 探测器 |
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附件（选配） |
斜插式能谱仪（EDS） |
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